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《氮化镓GaN功率MMIC工艺中PDK无源器件分析概述》4900字.docx

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    氮化镓GaN功率MMIC工艺中PDK无源器件分析概述

    目录

    TOC\o1-3\h\u31292氮化镓GaN功率MMIC工艺中PDK无源器件分析概述 1

    32341.1引言 1

    162251.2Foundry工艺制程 1

    293141.2.1UMSGH15-10工艺制程 2

    70281.2.2WINNP15-00工艺制程 3

    113421.2.3OMMICD01GH工艺制程 4

    78361.3PDK无源器件细节分析 4

    167171.3.1薄膜电阻与本征电阻 4

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