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MEMS高静压传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、规范性术语 5
三、产品分类与型号 7
四、质量目标与控制原则 9
五、设计质量控制 12
六、原材料与元器件控制 13
七、生产过程质量控制 16
八、关键工序控制 19
九、传感器性能要求 21
十、静压耐受与过载控制 25
十一、环境适应性要求 27
十二、检验与试验方法 29
十三、检验规则与抽样方案 34
十四、标识包装与贮存 37
十五、不合格品控制 41
十六、质量记录与追溯管理 43
总则
目的界定
本规范
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