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MEMS涡街流量芯片品质控制规范.docx

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    MEMS涡街流量芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、规范性术语 5

    三、芯片分类与型号 7

    四、质量管理体系 11

    五、设计质量控制 14

    六、原材料质量控制 16

    七、供应商质量管理 19

    八、生产环境控制 22

    九、制造过程控制 24

    十、关键工艺参数控制 27

    十一、在线检测与监控 30

    十二、外观质量检验 33

    十三、尺寸与结构检验 34

    十四、电气性能检验 37

    十五、流量性能检验 39

    十六、环境适应性试验 42

    十七、可靠性试验 44

    十八、检验规则与抽

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