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MEMS真空传感器品质控制规范.docx

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    MEMS真空传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类 6

    四、质量控制原则 8

    五、产品技术要求 11

    六、设计质量控制 13

    七、材料与元器件控制 16

    八、制造过程控制 18

    九、洁净度控制 22

    十、封装与气密性控制 24

    十一、校准要求 30

    十二、试验条件 33

    十三、测量范围与精度要求 36

    十四、分辨率与灵敏度要求 39

    十五、重复性与再现性要求 43

    十六、零点与温度特性要求 45

    十七、响应时间与稳定性要求 47

    十八、过载

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