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MEMS绝压传感器品质控制规范.docx

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    MEMS绝压传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语和定义 6

    三、质量目标与原则 9

    四、产品分类与型号管理 11

    五、技术要求 14

    六、设计质量控制 17

    七、原材料与外购件控制 20

    八、晶圆制造过程控制 22

    九、芯片封装过程控制 25

    十、校准与补偿控制 28

    十一、检验与试验方法 32

    十二、环境适应性验证 36

    十三、可靠性评价 40

    十四、生产过程质量管理 43

    十五、成品检验与放行 46

    十六、不合格品控制 48

    十七、标识包装与贮存 52

    十八、

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