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MEMS压差传感器品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 4
二、适用范围 6
三、术语与定义 8
四、产品分类与型号标识 11
五、技术质量要求 14
六、质量目标与控制原则 17
七、设计开发质量控制 21
八、供应链与来料质量控制 23
九、生产环境与设施控制 25
十、MEMS芯片制造过程控制 28
十一、封装与组装过程控制 30
十二、校准与补偿控制 32
十三、检验与试验方法 34
十四、出厂检验与判定规则 38
十五、可靠性与环境试验 41
十六、不合格品控制 44
十七、
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