超净工作台设备维护操作.pdfVIP

监视和测量装置记录

序

号：

设备名设备编号使用部门

称

内容：

4.3.1根据环境洁净程度，定期将预过滤器中的粗效滤料拆下（具体操作见使用

说明书），一般间隔时间为3～6个月。（2～3次后，即应进行粗效滤料更换）

4.3.2建议定期（一般每二月一次）用热球式电风速仪测量工作区风速，如发现不符

合技术参数的要求，则应调节风速设置为高速档。

4.3.3当风速已调至高速档时，工作区风速仍达不到0.3m∕s，则必须更换高效过滤

器。（在本工作台要求的使用环境和条件下使用，应用尘埃粒子计数器检查四周边密

封是否良好，若有需采取封堵措施。

4.3.4长期不用时，应每月至少开启一次，检查仪器是否正常。

日期操作者备注日期操作者