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半导体洁净室工程设计指南
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、设计目标与基本原则 5
三、工艺需求与设计条件 7
四、洁净室分级与参数 9
五、总体规划与功能分区 12
六、建筑与围护结构设计 14
七、洁净室气流组织设计 16
八、空气处理与净化系统 21
九、温湿度与压差控制 24
十、微振动与噪声控制 27
十一、化学品与工艺排气系统 29
十二、特种气体与真空系统 32
十三、纯水与工艺冷却水系统 34
十四、电气与照明系统 37
十五、自动化与监控系统 39
十六、消防与安全设计 42
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