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半导体器件静电防护作业规范.docx

半导体器件静电防护作业规范.docx

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    半导体器件静电防护作业规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 6

    三、术语与定义 9

    四、静电防护基本原则 12

    五、静电防护区域划分 15

    六、人员静电防护要求 16

    七、工作服与个人防护用品 18

    八、接地系统管理 21

    九、静电防护设施配置 23

    十、器件包装与储运 27

    十一、作业过程控制 29

    十二、设备与工装防护 33

    十三、静电检测与监控 34

    十四、静电异常处置 36

    十五、培训与记录管理 40

    总则

    目的界定

    本规范旨在建立一套系统、严谨的半导体器件静电防护作业

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