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半导体晶圆厂洁净室运维制度.docx

半导体晶圆厂洁净室运维制度.docx

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    半导体晶圆厂洁净室运维制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、组织架构与岗位职责 7

    三、洁净室分区与环境要求 9

    四、人员准入与行为规范 13

    五、洁净服与个人防护管理 15

    六、物料设备准入管理 17

    七、洁净室清洁与消毒管理 19

    八、空气洁净系统运行管理 22

    九、温湿度与压差管理 25

    十、颗粒物与分子污染控制 28

    十一、工艺排风与废气管理 31

    十二、供水供气及特气管理 33

    十三、设备设施巡检维护 36

    十四、监测仪器校准管理 39

    十五、洁净室环境监测管理 41

    十六、异常事件

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