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半导体洁净厂房施工方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、工程概况 2
二、施工组织部署 3
三、施工准备与资源配置 6
四、施工总平面布置 9
五、洁净室空间与工艺分区 12
六、施工测量与放线 16
七、土建结构施工 19
八、围护结构与洁净装修 22
九、洁净空调与通风系统 24
十、工艺管道与特种气体系统 26
十一、电气与照明系统 28
十二、弱电与智能化系统 33
十三、给排水与废水处理系统 36
十四、消防与安全设施施工 40
十五、设备搬入与安装配合 42
十六、洁净度控制与污染防治 45
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