CN119310807A 用于基板制造的舱体、设备、系统和制造方法 （深圳市大族数控科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119310807A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411439571.5

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人深圳市大族数控科技股份有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区福海街

道和平社区重庆路12号大族激光智造

中心3栋厂房101、3栋1楼、3栋2楼、3栋

4楼、3栋7楼、4栋1楼、4栋4楼

(72)发明人陈涛宏许立鹏肖健杨朝辉

(74)专利代理机构深圳众鼎专利商标代理事务

所(普通合伙)44325

专利代理师谭果林

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)