一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测芯片系统[发明专利].pdfVIP

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专利名称：一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测

芯片系统

专利类型：发明专利

发明人：晨,赵壮壮,解意洋,潘冠中,胡良臣,庞伟,杨满坡

申请号：CN201910774171.2

申请日

公开号：CN110433878A

公开日

摘要：一种基于VCSEL耦合阵列的光学相位差的液体检测芯片系统，属于半导体激光器技术、生

化检测技术的交叉技术领域。本发明通过采用质子注入或腔诱导反波导或光子晶体等技术，实现

VCSEL耦合阵列的制备。通过PECVD、光刻、溅射、反应离子刻蚀、湿法腐蚀和键合等工艺在VCSEL

耦合阵列表面集成微流控结构。在VCSEL耦合阵列上表面利用微流控技术，将待测液体通入VCSEL耦

合阵列单元上方，引起VCSEL单元间光束耦合相位差改变，使得激光光束发生偏转，通过对激光光束

偏转角度测量，可以计算出液体的折射率，实现液体折射率检测。

申请人：北京工业大学

地：100124北京市朝阳区平乐园100号

国籍：CN

代理机构：北京思海天达知识产权代理有限公司

代理人：张立改

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