《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》
(征求意见稿)
编制说明
一、工作简况
(一)任务来源
本文件由中国技术市场协会提出,经中国技术市场协会标准
化工作委员会批准,正式列入2026年团体标准制修订计划,标
准名称为《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》。
(二)项目背景
电子级硫酸是半导体、集成电路、光伏及液晶面板制造过程
中不可或缺的关键湿电子化学品,主要用于晶圆清洗、光刻胶去
除等
《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》
(征求意见稿)
编制说明
一、工作简况
(一)任务来源
本文件由中国技术市场协会提出,经中国技术市场协会标准
化工作委员会批准,正式列入2026年团体标准制修订计划,标
准名称为《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》。
(二)项目背景
电子级硫酸是半导体、集成电路、光伏及液晶面板制造过程
中不可或缺的关键湿电子化学品,主要用于晶圆清洗、光刻胶去
除等
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