《电子级硫酸超高纯提纯技术规范编制说明》.pdf

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《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》

(征求意见稿)

编制说明

一、工作简况

(一)任务来源

本文件由中国技术市场协会提出,经中国技术市场协会标准

化工作委员会批准,正式列入2026年团体标准制修订计划,标

准名称为《电子级硫酸超高纯提纯技术规范》。

(二)项目背景

电子级硫酸是半导体、集成电路、光伏及液晶面板制造过程

中不可或缺的关键湿电子化学品,主要用于晶圆清洗、光刻胶去

除等

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