淀积面薄膜的形成教学.pptxVIP

淀积面薄膜的形成教学;;01;薄膜材料的定义与工业应用场景;薄膜淀积技术分类（PVD与CVD体系）;表面吸附与扩散动力学;02;入射原子的表面吸附与解析概率;;;03;Volmer-Weber（岛状）生长模式;完全润湿特性;;04;;较低的淀积速率赋予吸附原子充足的表面扩散时间，使其能够有效沉降到生长晶格的低能位点和谷底，从而填充微观空隙并降低表面粗糙度。;电子显微镜（SEM/TEM）下的微观形貌特征;05;磁控溅射功率对薄膜致密度的调控;;基底偏压对薄膜内应力的改变曲线;06;晶体结构鉴定;纳米压痕法测量薄膜硬度与附着力数据;;THANKS