CN118905910A 基于电涡流的金属膜厚测量方法、装置及化学机械抛光设备 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118905910A

(43)申请公布日2024.11.08

(21)申请号202411404778.9

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人路新春田芳馨王超

(51)Int.Cl.

B24B37/005(2012.01)

B24B49/10(2006.01)

B24B37/10(2012.01)

G01B7/06(2006.01)

权利要求书4页说明书6页附图4页

(54)发明名称

基于电涡流的金属膜厚测量方法