SU-8背面曝光锥形金属微针阵列研究.pdfVIP

INSTITUTEOF

PHYSICSPUBLISHING｜end▁of▁sentence｜JOURNAL的

MICROMECHANICS和MICROENGINEERING｜end▁of▁sentence｜

J.

Micromech.

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(2004)

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S0960‑1317(04)72108‑7｜end▁

sentence｜of▁sentence｜

一种使用SU‑8背面的锥形中空金属

微针阵列｜end▁of▁sentence｜

1112

Kabseog

Kim,Daniel

S

Park,Hong

M

Lu,Wooseong

Che,Kyunghwan

314

Kim,Jeong‑Bong

Lee和

Chong

H

Ahn｜end▁of▁sentence｜

1德克萨斯大学达拉斯分校埃里克·琼森