CN118904738A 一种芯片检测装置及检测方法 （深圳市华拓半导体技术有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118904738A

(43)申请公布日2024.11.08

(21)申请号202411420307.7

(22)申请日2024.10.12

(71)申请人深圳市华拓半导体技术有限公司

地址518000广东省深圳市光明区光明街

道碧眼社区华强创意公园5栋B座0402

(72)发明人罗建华罗炜桓刘佳华邹辉庭

李刁龙龙志斌

(74)专利代理机构深圳昊生知识产权代理有限

公司44729

专利代理师屈蘅

(51)Int.Cl.

B07C5/00(2006.01)

B07C5/02(2006.01)

B07C5/36(2006.01)