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干式螺杆真空泵培训

汇报人：XXX

01

干式真空泵技术背景

02

核心结构与工作原理

03

关键性能指标与测试数据

04

典型故障模式与数据诊断

05

运行维护与保养实操

06

行业应用案例与效能评估

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干式真空泵技术背景

半导体工艺制程的真空需求

半导体前道工艺中多项关键环节须在真空环境下完成，按清洁、中等、苛刻三类工况配置干泵，以满足极高洁净度与稳定性标准。

洁净环境要求

先进制程需应对腐蚀气体、粉尘颗粒及频繁启停等严酷条件，要求真空泵具备高可靠性、精准压力控制与异常快速响应能力。

复杂工况应对

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02

传统油封泵的污染痛点

油气污染风险

传统油封泵在运行中易产生油气倒流与残留，导致晶圆产生微粒污染与缺陷，无法满足集成电路制造对洁净真空环境的苛刻要求。

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工况适应性差

面对刻蚀、沉积等工艺中的强腐蚀性气体与高温环境，油封泵的化学耐受性与维护周期受限，难以保障长周期稳定运行。

02

洁净干式抽气技术演进

干式真空泵无需油类密封且可直排大气，从根源消除油污染风险，提供宽抽速范围与耐腐蚀能力，契合泛半导体领域洁净真空需求。

无油直排技术

新一代干泵集成多维传感器与边缘计算模块，实现设备状态在线感知与故障预测，推动真空获得技术向全生命周期数字管理演进。

智能化升级

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核心结构与工作原理

双螺杆转子型线设计

光滑型线构建

采用圆渐开线、摆线及其等距曲线组合，构建全光滑转