GBT 17873-2025 纯氖、高纯氖和超纯氖 标准立项发展报告.docxVIP

纯氖、高纯氖和超纯氖标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:PureNeon,HighPurityNeonandUltraPureNeon

摘要

纯氖、高纯氖和超纯氖作为重要的特种气体，在半导体制造、光电显示、激光技术、低温超导及航空航天等高新技术领域具有不可替代的应用价值。随着我国集成电路、平板显示和新能源产业的快速发展，对氖气产品的纯度等级、杂质控制和分析方法提出了更高要求。GB/T17873-2025《纯氖、高纯氖和超纯氖》是在原标准基础上修订而成的国家标准，于2025年发布，将于2026年3月1日正式实施。本标准规定了纯氖、高纯氖和超纯氖的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮存及运输等内容，按纯度将产品分为纯氖、高纯氖和超纯氖三个等级，并对氧、氮、氢、一氧化碳、二氧化碳、水分及总烃等关键杂质给出了严格的限量指标。本次修订结合我国氖气生产实际和技术进步，优化了纯度指标体系和检测方法，提升了标准的科学性和适用性。本报告系统梳理了该标准修订的背景、技术依据、主要内容及实施意义，旨在为相关企事业单位和技术人员提供参考。

关键词：纯氖；高纯氖；超纯氖；特种气体；国家标准；杂质控制；半导体；标准修订

Keywords:Pureneon;Highpurityneon;Ultrapureneon;