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精密零件清洁度控制与检测规范

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一、范围 3

二、术语和定义 4

三、清洁度控制目标 6

四、清洁度等级划分 7

五、零件分类与污染物识别 12

六、清洁度技术要求 14

七、清洗工艺设计 18

八、清洗介质要求 21

九、清洗设备要求 24

十、清洗过程控制 27

十一、漂洗与干燥要求 29

十二、防再污染控制 31

十三、洁净环境管理 33

十四、人员与操作管理 36

十五、清洁度检测策划 39

十六、检测方法与设备 41

十七、颗粒污染物检测 46

十八、非挥发性残留检测 49

十九、检测结果判定 52

二十、抽样与复检规则 55

二十一、记录与标识管理 60

二十二、异常处置与持续改进 63

范围

适用领域

本规范适用于所有涉及精密零件制造、加工、装配及检测环节的清洁度控制与检测方法，覆盖从精密零件生产、加工到成品检测的全流程，旨在为精密零件清洁度管理的标准化、规范化提供通用性指导框架，适用于各类具有高精度、高要求特征的精密零件应用场景。

适用对象

规范明确覆盖的对象为各类精密零件，包括但不限于半导体晶片、光学镜片、精密模具、航空航天功能性零件、高端医疗器械零件等，所有需开展清洁度控制与检测的精密零件均纳入本规范适用范围，不因零件类