微波探针测试夹具及校准方法优化.pdfVIP

10.申请公布号CN104865421A

11.申请公布日2015.08.26

12.申请号201510323002.9

13.申请日2015.06.12

(71)申请人第十三地址050051河北省石家庄市合作路113号

(72)发明人

(74)专利机构石家庄国为13120人

51.Int.CI.

GO1R1/04(2006.01)

(54)发明名称

在片微波探针测试夹具及在片微波探针测试方法

(57）

本发明公开了一种在片微波探针测试夹具及在片微波探针测试方法，涉及微波在片测试方法技

术领域。所述测试夹具包括第一测试PAD、第二测试PAD、第三测试PAD、第一对位标记、

第二对位标记、第三对位标记和第四对位标记。所述测试方法使用上述测试夹具，通过测试夹

具上的对位标记，在测试的过程中能够保证被测件的参考面与校准件的测量参考面相一致，从

而避免探针扎针的不一致性导致额外的误差引入，提高了测量的精确度。

权利要求书1页说明书3页附图1页