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jc-t3028-2026高纯石墨靶材

目录

CONTENTS

02.

04.

05.

01.

03.

06.

标准概述

检验规则

技术要求

标志、包装与运输

试验方法

质量控制与行业应用

01

标准概述

标准制定背景与目的

当前我国高纯石墨靶材产品标准尚属空白，市场流通产品良莠不齐，制定该标准能够有效规范生产流程，为产品质量评价提供统一依据。

填补行业标准空白

随着显示面板及半导体等高端制造领域飞速发展，溅射镀膜技术对核心耗材质量稳定性要求严苛，标准制定有助于推动产业链高端化协同发展。

促进产业链协同发展

标准适用于显示面板、半导体集成电路及真空镀膜等高端制造领域，明确了溅射镀膜工艺中对