课件 2.2-1 压阻式压力传感器原理及应用.pptxVIP

压阻式压力传感器原理及应用

一、压阻式传感器的工作原理压阻式压力传感器的压力敏感元件是压阻元件，它是基于压阻效应工作的。压阻效应---半导体材料的受外力或应力作用时，其电阻率发生变化的现象。所引起的电阻相对变化为：半导体材料的电阻率沿某晶向的应力沿某晶向的应变沿某晶向的压阻系数材料的弹性模量

压阻式压力传感器的结构示意图。一、压阻式传感器的工作原理

工作原理：压阻芯片采用周边固定的硅杯结构，封装在外壳内。在一块圆形的单晶硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做四个等值电阻，两片位于受压应力区，另两个位于受拉应力区，它们组成一个全桥测量电路。硅模片用一个圆形硅杯固定，两边有两个压力腔，一个和被测压力相连，为高压腔，另一个是低压腔，为参考压力，通常和大气相通。当存在压差时，膜片产生形变，使两对电阻阻值发生变化，电桥失去平衡，其输出电压反映膜片两边承受的压差的大小。一、压阻式传感器的工作原理

二、常见压阻式压力传感器

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