电子行业半导体制造崛起系列：CD-SEM是守护晶圆制造良率的核心量测设备.docxVIP

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|行业专题研究|电子|2026/08/25

半导体制造崛起系列

ElectronicsCD-SEM是守护晶圆制造良率的核心量测设备

Electronics

量检测设备是半导体前道制造中保障良率与工艺稳定的核心环节。集成电路制造涉及数百道工序，质量检测设备贯穿晶圆制造全过程，承担发现问题、量化偏差与维持工艺稳定的核心职能。按技术路线划分，前道量检测设备主要包括光学和电子束两大路线：光学技术基于光的散射、反射、衍射原理实现快速成像与测量，速度快、吞吐量高，是目前市场主流，代表厂商为中科飞测；电子束技术利用电子束扫描成像，分辨率达亚纳米级，精度高但速度较慢，主要用于关键尺寸