薄膜晶体管材料与技术：第6章-氧化物薄膜晶体管.pptx

薄膜晶体管材料与技术MaterialsandTechnologyforThin-FilmTransistors

6氧化物薄膜晶体管OxideThin-FilmTransistors

6.1氧化物TFT简介6.2氧化物半导体材料设计理论及载流子传导机制6.3高迁移率氧化物半导体材料和器件设计原理6.4p型氧化物半导体材料的设计6.5氧化物TFT的尺寸效应及三维集成电路应用6氧化物薄膜晶体管

6.1.1氧化物TFT的优点和挑战6.1氧化物TFT简介4氧化物半导体和一些其他常见的半导体材料的带隙比较高迁移率与均匀性低温制备与柔性兼容带隙宽、可透明性低成本与大面积制备