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《电容式微机械超声换能器CMUT的仿真研究》17000字.docx

《电容式微机械超声换能器CMUT的仿真研究》17000字.docx

    电容式微机械超声换能器CMUT的仿真研究

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 4

    1绪论 6

    1.1超声波及其应用 6

    1.2超声波的发展趋势 7

    1.3超声波换能器 7

    1.4CUMT研究现状 8

    1.4.1国外研究现状 8

    1.4.2国内研究现状 10

    1.5研究意义和内容 13

    2CUMT工作原理 15

    2.1CUMT基本结构 15

    2.2CUMT工作原理 15

    2.3薄膜振动模型 16

    2.4平行板电容模型 20

    2.5一阶集总参数模型 23

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