JESD22-A110-2023 中文版 静电放电 HBM 测试.docxVIP

JESD22-A110-2023中文版静电放电HBM测试

一、人体模型的等效电路与放电过程

1.1集总参数等效电路的构成与元件物理含义

人体模型（humanbodymodel，HBM）以集总参数电路描述带电人体经器件引脚放电的过程，试验室用一只充电电容与一只放电电阻串联，配合高压充电电源与放电开关构成等效网络。电容表征人体对地储存电荷的能力，工程常用取值取100pF量级（示例），放电电阻表征人体皮肤、接触点与体电阻的串联等效，工程常用取值取1.5kΩ量级（示例）。当电容被充电至某一应力电压并闭合放电开关时，储能经电阻向被测器件（deviceundertest，DUT）的指定引脚注入电流，回路的电流路径由该引脚进入芯片，经片上保护结构、电源轨或衬底网络，再从参考引脚返回放电网络低端。电容与电阻的乘积决定放电时间常数，取100pF与1.5kΩ时约为150ns（示例），该量级使脉冲落在数百纳秒时域，明显区别于充电器件模型（chargeddevicemodel，CDM）由器件自身电容经接地探针放电所形成的数纳秒级窄脉冲。具体取值应由器件规格书、顾客要求与工艺能力确定。

这类集总参数近似只在回路寄生可忽略或已被校验覆盖时成立。带金属散热盖的大尺寸倒装芯片球栅阵列（flipchipballgridarray，FCBGA）处理器在分选机取