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- 2026-11-07 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119275092A
(43)申请公布日2025.01.07
(21)申请号202411405943.2
(22)申请日2024.10.10
(71)申请人厦门大学
地址361005福建省厦门市思明南路422号
(72)发明人张峰张锐军洪荣墩邱宇峰
张荣
(74)专利代理机构厦门南强之路专利事务所
(普通合伙)35200
专利代理师马应森戴深峻
(51)Int.Cl.
H01L21/04(2006.01)
H01L21/322(2006.01)
H01L21/324(2006.01)
C30B33/02(2006.01)
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