微束分析 扫描电子显微术 CD-SEM评定关键尺寸的方法 标准立项发展报告.docx

微束分析扫描电子显微术CD-SEM评定关键尺寸的方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MicrobeamAnalysis—ScanningElectronMicroscopy—MethodforEvaluatingCriticalDimensionsbyCD-SEM

摘要

随着半导体制造工艺向纳米级节点持续演进，关键尺寸（CriticalDimension,CD）的精确测量已成为制约芯片良率与性能的核心环节。临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）作为半导体产线中最重要的在线计量工具，其测量方法的标准化对于保障测