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- 2026-11-08 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119310798A
(43)申请公布日2025.01.14
(21)申请号202411412610.2
(22)申请日2024.10.10
(71)申请人浙江创芯集成电路有限公司
地址311200浙江省杭州市萧山区经济技
术开发区建设三路733号
(72)发明人李贝贝陶然詹侃
(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限
公司11227
专利代理师吴敏
(51)Int.Cl.
G03F7/16(2006.01)
H01L21/67(2006.01)
权利要求书2页说明书11页附图8页
(54)发
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