超纯水不锈钢管道焊接节点图集中文版 卡压与法兰连接.docxVIP

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超纯水不锈钢管道焊接节点图集中文版卡压与法兰连接

一、适用范围与系统边界

1.1适用管段与介质边界

本图集适用于半导体晶圆厂超纯水（UPW）系统中316L不锈钢管路的焊接节点、卡压连接节点以及法兰、卡箍、VCR密封连接节点的选型、施工与验收。覆盖管段包括超纯水制备单元中反渗透产水至电去离子前的中间管段、抛光混床前后的耐蚀管段、超纯水主循环系统中要求机械强度高于热塑性管材的干管、热水消毒（巴氏消毒或热水循环）管段、需承受较高温度或压力的分配主管，以及洁净区内阀门组与在线仪表前后的可拆卸连接段。介质为电阻率18.2MΩ·cm（25℃）量级的超纯水，总有机碳（TOC）常控1~5μg/L，硼、硅以μg/L量级控制，溶解氧按工艺要求控制在5~20μg/L，颗粒按不小于0.05μm粒径计数。

采用316L不锈钢的判据并非水质等级更高，而是工况条件超出热塑性管材的能力边界。热水消毒段长期在60~85℃区间运行，PVDF与PFA在该温度下的许用应力与蠕变寿命明显下降；管廊跨度较大或对支吊架间距有严格限制时，金属管材刚度优势明显；设备接口、振动部位与消防或结构碰撞风险区，也以金属管路更为稳妥。但金属管路对内壁表面状态、焊接氧化与铁离子污染极为敏感，一旦表面处理不到位，其离子析出与颗粒脱落反而高于洁净热塑性管材，因此表面质量与焊接保护构成图