CN119310435A 晶圆测试方法、装置及设备 (佛山市国星半导体技术有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-08 发布于重庆
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CN119310435A 晶圆测试方法、装置及设备 (佛山市国星半导体技术有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119310435A

(43)申请公布日2025.01.14

(21)申请号202411431258.7

(22)申请日2024.10.14

(71)申请人佛山市国星半导体技术有限公司

地址528200广东省佛山市南海区狮山镇

罗村朗沙广东新光源产业基地内光明

大道18号

(72)发明人刘佑芝陈桂飞

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师李素兰

(51)Int.Cl.

G01R31/28(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页

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