CN119330299A MEMS器件功能层制备方法及MEMS器件 （中芯集成电路（宁波）有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119330299A

(43)申请公布日2025.01.21

(21)申请号202411417155.5

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人中芯集成电路（宁波）有限公司

地址315800浙江省宁波市北仑区小港街

道安居路335号3幢、4幢、5幢

(72)发明人徐日丁本利葛铭辉杨国煌

(74)专利代理机构北京思创大成知识产权代理

有限公司11614

专利代理师崔维佳

(51)Int.Cl.

B81C1/00(2006.01)

B81C3/00(2006.01)

B81C99/00(2010.01)

B81B7/02(2006.01)