基于并联运动学MEMS纳米定位器设计与分析.pdfVIP

2015年IEEE机器人与仿生学会议集

，2015年12月6日至9日

一种并联运动学MEMS

XY纳米定位器的设计

∗,

金,

—

本研究的目的是设计一种新型的并联运动微机电[11]刘等人设计了一种基于玻璃上硅制造工艺的三自由

系统（MEMS）XY纳米定位器。由于制造、材料特性和驱动度MEMS定位器。季等人开发了一种集成电容位移传感

方面的限制，设计MEMS

XY定位器具有性。本文器的两自由度MEMS运动台。朱等人开发了一种具有电

XY纳米定位器具有解耦运动、大行程、紧凑尺寸和大平面外热驱动和集成传感功能的MEMS纳米定位器。和

刚度的特点。该定位器包括三个部分：热驱动器、位移放大器设计了一种用于高带宽AFM的两自由度MEMS

和导向机构。热驱动器用于产生大电热力以实现平面内运动。

纳米定位器。布鲁瓦尔和建造了一个六自由度

基于杠杆原理的位移放大器设计用于增加平面内的行程。对称