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《光刻胶生产过程质量控制规范》.docx

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    《光刻胶生产过程质量控制规范》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、术语与定义 2

    二、生产企业基本要求 5

    三、原料进厂检验要求 7

    四、原料供应商质量管理 10

    五、生产工艺参数管控 13

    六、生产环境洁净度管控 15

    七、生产过程检验要求 17

    八、配料混合工序质量控制 19

    九、过滤除杂工序质量控制 22

    十、脱气消泡工序质量控制 25

    十一、分装包装工序质量控制 27

    十二、成品检验要求 30

    十三、产品标识与追溯管理 32

    十四、储存运输质量控制 35

    十五、检验设备仪器管理 39

    十六、生产人员资

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