原创力文档PAGE
《半导体材料验证与导入流程规范》
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、规范性引用文件 5
三、术语与定义 7
四、验证与导入管理职责 10
五、半导体材料分类分级规则 12
六、材料需求提出与审批流程 15
七、供应商资质审核规范 18
八、样品验证申请与接收 20
九、材料性能指标验证方法 22
十、材料可靠性验证要求 25
十一、工艺兼容性验证方法 28
十二、小批量试用验证流程 32
十三、试用问题反馈与整改机制 35
十四、验证结果评审与确认流程 37
十五、批量导入申请与审批流程 40
十
文档评论（0）