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《晶圆厂化学品供应与存储管理规范》
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 2
二、术语与定义 4
三、供应管理总体要求 6
四、供应商资质审核 11
五、化学品采购流程 13
六、到货验收管理 15
七、运输与配送要求 19
八、存储场所规划布局 21
九、存储设备与容器要求 24
十、存储环境管控措施 27
十一、化学品分类存储规范 31
十二、库存盘点与台账管理 34
十三、领用与发放管理 37
十四、废弃物存储处置要求 39
十五、安全风险防控措施 41
十六、人员培训与操作规范 45
十七、监督
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