MEMS 微镜芯片：机器 3D 视觉的微米级扫描瞳孔.pdfVIP

MEMS微镜芯片：机器3D视觉的微米级扫描瞳

孔

摘要

在三维深度相机、激光扫描及激光雷达（LiDAR）的光学系统中，MEMS微镜是实现电信号至空间指向转换的

核心组件，其结构为直径1~8mm的硅基镜面，通过微米级扭摆梁实现支撑，可在X/Y双轴上以kHz量级的

谐振频率发生偏转，将激光束扫描并转化为点云。本文按照“应用场景—工作原理—材料与工艺—CMF与结

构设计—场景选型”五个部分展开论述，提出具备可复现性的参数规范、工艺与性能之间的因果关系，以

及四类典型场景的选型依据。研究表明，MEMS微镜并非可随意替换的通用标准件，其通光口径、扫描角度

与谐振频率构成一组强耦合硬约束，整机点云质量的上限在微镜选型阶段即已被该芯片所确定。

关键词：MEMS微镜；三维视觉；激光雷达；绝缘体上硅；深反应离子刻蚀；晶圆级封装；静电/压电驱动；结构光；飞

行时间

引言

当前机器人、汽车与工业装备领域在探讨“环境感知”功能时，研究焦点通常集中于算法、算力或整机形

态设计。但对于三维深度相机而言，决定其空间感知精度的核心组件往往是尺寸远小于指甲盖的硅片——

即MEMS扫描微镜。其功能类似人眼的瞳孔，可控制光束的落点与扫描节奏，若瞳孔固定，即便视网膜分辨

率极高也仅能感知单一光点；若微镜无法扫描，即便激光器功率再高也仅能照射单一线段。

将MEMS微镜类比为