集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范标准化发展研究报告.docx

集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范修订研究报告

TechnicalSpecificationforChemicalPollutionPreventionandControlEngineeringinIntegratedCircuitFactories(Revision)

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级节点持续推进，生产过程中使用的化学品品类和用量急剧增加，化学品污染防控已成为制约行业绿色可持续发展的关键问题。本报告围绕行业标准计划项目《集成电路工厂化学品污染防控工程技术规范》（计划编号：2024-0771T-SJ）的修订工作展开研究。该标准由工业和信息化部规划司主管，电子工程标准定额站作为技术归口单位，中国电子系统工程第四建设有限公司担任主要起草单位。本次修订旨在适应集成电路制造技术演进带来的新需求，完善化学品污染防控工程的技术要求，涵盖化学品储存、输送、使用、回收及废弃处置全生命周期的污染防控工程设计与施工规范。报告系统分析了标准修订的背景与必要性，阐述了标准的技术框架和核心内容，介绍了主要参与单位的技术实力，并对标准的实施前景进行了展望。研究认为，该标准的修订将有效提升集成电路工厂化学品污染防控工程的建设质量，为行业安全生产和环境保护提供重要的技术支撑。

关键词：集成电路；化学品污染防控；工程技术规范；行业标准；修订；全生命周期管理；绿色