集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术规范标准化发展研究报告.docx

《集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术规范》标准化发展报告

TechnicalSpecificationforProcessCoolingWaterSystemEngineeringofIntegratedCircuitFactories:AStandardizationDevelopmentReport

摘要

随着集成电路制造工艺向纳米级节点持续演进，工艺循环冷却水系统作为保障生产设备稳定运行、控制工艺精度和提升产品良率的关键支撑系统，其工程技术标准化需求日益迫切。本报告围绕行业标准计划项目《集成电路工厂工艺循环冷却水系统工程技术规范》（计划编号：2024-0770T-SJ）的修订工作，系统阐述了该标准的修订背景、技术框架、核心内容及行业价值。该标准由电子工程标准定额站归口管理，中国电子系统工程第四建设有限公司担任主要起草单位，计划于2024年5月完成报批。标准适用于集成电路工厂工艺循环冷却水系统的设计、施工、验收及运维全过程，涵盖水质控制、系统设计、材料选用、检测与验收等关键技术要求。本报告旨在为行业技术人员和管理人员提供标准修订的全面解读，推动标准在集成电路工程建设中的贯彻实施。

关键词：集成电路工厂；工艺循环冷却水系统；工程技术规范；标准化；水质控制；系统设计；行业标准

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