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生成式AI赋能半导体制造：良率提升与缺陷检测新突破
TOC\o1-3\h\z\u32082一、引言与背景 4
317581.1半导体制造面临的挑战 4
68141.1.1工艺复杂度激增与良率瓶颈 4
270331.1.2传统检测方法的局限性分析 5
194171.2生成式AI的技术崛起 6
25461.2.1从判别式到生成式AI的范式转变 6
270821.2.2在工业场景中的适配性优势 8
25039二、生成式AI在缺陷检测中的应用 9
167092.1小样本下的缺陷识别增强 9
250242
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