多晶硅流程图及阀门分布图.xlsVIP

Sheet3

Sheet2

Sheet1

硅矿石

提纯处理

99%浓度硅粉

硅板99.999999%

冶炼

混合器

HCL

氧化反应釜

还原反应

Si

SIHCL3（三氯氢硅）提纯

H2

热氢化工艺：

区别

优点

阀门

类型

如图所示

Si+Hcl,硅粉与盐酸直接反应

1500吨/年，耐磨阀数量为40-50台，四寸价格为10万人民币左右。硬密封球阀价格为5-6万人民币左右。

H2

SiCl4

投资大，效益高

1500吨/年，其中回有Incology800特材球阀，仪表和工艺加起来不超过10台。

冷氢化工艺：

项目

新疆特变电工1500吨/年加1000吨/年。仪表设计：顾兴海

投资小，适合规模小的单位，技术成熟，成达院以此设计为主。

Si+H2+SiCl4三者反应

内蒙古包头三路集团3000吨/年多晶硅项目，项目经理：洪川。仪表设计：杨勇。审核：顾兴海

盘阀

耐磨球阀

硬密封球阀

盘阀

耐磨球阀、Incology特材阀

硬密封球阀

可直接在市场上采购SIHCL3后进行还原反应，进行产量扩容，新疆特变电工就是如此，只有后端还原部分，没有前端。