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晶圆缺陷检测技术培训课件
目录TOC\o1-4\z\u
一、晶圆制造与缺陷基本概述 3
二、晶圆缺陷的分类与特征 4
三、缺陷检测对生产的核心价值 7
四、晶圆缺陷检测的主流技术分类 9
五、光学检测技术的工作原理 12
六、光学检测设备的核心构成 14
七、电子束检测技术的工作原理 20
八、电子束检测的技术优势特点 22
九、X射线检测技术的工作原理 24
十、X射线检测的适用场景范围 28
十一、机器视觉检测的基础原理 31
十二、视觉检测的图像处理技术方法 34
十三、缺陷检测的核心性能指标 37
十四、晶圆
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