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- 2026-11-13 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119480644A
(43)申请公布日2025.02.18
(21)申请号202411406395.5H01L21/768(2006.01)
H01L23/367(2006.01)
(22)申请日2024.10.10
(71)申请人复旦大学
地址200433上海市杨浦区邯郸路220号
(72)发明人樊嘉杰李雯钰
(74)专利代理机构上海正旦专利代理有限公司
31200
专利代理师陆飞陆尤
(51)Int.Cl.
H01L21/50(2006.01)
H0
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