CN119489390A 一种静电卡盘的制备方法 (君原电子科技(海宁)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-11-13 发布于重庆
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CN119489390A 一种静电卡盘的制备方法 (君原电子科技(海宁)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119489390A

(43)申请公布日2025.02.21

(21)申请号202411404226.8

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人君原电子科技(海宁)有限公司

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