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- 2026-11-14 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119913489A
(43)申请公布日2025.05.02
(21)申请号202510413316.1
(22)申请日2025.04.03
(71)申请人先材（深圳）半导体科技有限公司
地址518000广东省深圳市龙华区观澜街
道新澜社区观光路1301-33号201
(72)发明人徐彬城逄效伟陆伟伟
(74)专利代理机构深圳市嘉勤知识产权代理有
限公司44651
专利代理师王敏生
(51)Int.Cl.
C23C16/511(2006.01)
C23C16/458(2006.01)
C23C16/455(2006.01)
H01J37/32(2006.01)
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