离子束溅射薄膜压力传感器的力学特性.pdfVIP

维普资讯 14 传 感 器 技 术 第 20卷 矩仪。 平行力系。并且通过加载杆 中间下方 的 自位装置与 3 万能静重式扭矩仪的原理 加载装置相联 ；而力加载装置则 固定在支座上。这样 万能静重式扭矩仪示意图如图5。 通过力加载装置加力后，则在两面钢绳上分别产生 各为该力的一半力加在于力臂杆的两端 ，并且 由于 力臂杆与加载杆平行，则使标定扭轴产生一纯扭力； 而且加载杆产生 的微小转角由自位装置克服。 此时标定精度主要取决于力加载装置的精度， 而选择力加载装置的可塑性是很大的：例如