激光辐照下金属复合汽化汽离混合区的能量传输及其影响因素分析.docVIP

【标题】激光辐照下金属复合汽化汽离混合区的能量传输及其影响因素分析 【作者】喻 定 钧 【关键词】激光辐照??金属??汽化汽离混合区??平均能量密度??影响因素 【指导老师】张 可 言 【专业】物理学 【正文】1.绪论1.1激光辐照效应概述1.1.1激光辐照激光辐照是指激光束照射宏观介质、材料、结构物、光学器件、光电探测器件和生物体所产生的各种响应和效果，亦即所引起的力学、热学、光学、化学和生物学性质的变化。这是一个学科门类广泛、综合性强的技术科学领域，是激光技术各种实际应用的基础和桥梁，是发展激光器、激光加工、激光军事应用、激光聚变、激光安全防护、激光医疗和生物工程等高新技术必须考虑的重要问题。激光具有方向性好、能量高度集中和单色性好等一系列优点。目前，激光加工已广泛应用于各类材料加工和微加工。由于金属材料熔点较低，导热性能强，利用纳秒激光进行μｍ量级以及亚μｍ量级的金属加工时，加工精度和质量都受到了一定的限制。用脉宽为ｐｓ及ｆｓ量级的超短脉冲激光加工金属材料，则将突破这一限制。超短脉冲激光加工的优势主要体现在：脉冲持续时间极短，因热传导作用造成的热效应体积较长脉冲小了很多。当激光的能流密度被调整到等于或刚刚超过材料的烧蚀阈值时，材料的热影响区实际上比聚焦区更小，这就提高了加工过程的可控性和精密性。超短脉冲激光加工时，加工表面更为平整和光滑。所以超短脉冲激光加工技术，在大规模集成电路生产和微机电系统制造中有着广泛的应用。材料的力学、电学和光学性质等均与材料的温度分布状况密切相关。对材料在激光加工过程中能量传递机制的深刻理解，有助于在激光加工过程中对材料温度等参量进行更加精确的控制。比如可采取有效手段，预防器件或结构在加工及使用过程中所造成的热失效及热破坏。1.1.2金属激光辐照金属激光辐照是指激光束照射到金属上所产生的各种响应和效果，亦即所引起的物理、化学的变化。这方面的研究比较多,如：文献[1]中分析了金属材料在中强度激光辐照下气化蒸气在真空里的推进行为，结果显示：(1)金属蒸气的浪头状态参量存在自相似中间变元，此中间变元随辐照激光强度的不同而不同，但在一定的激光强度下；它有且只有一个取值，此值对应的浪头状态参量是稳定的；(2)密度和压强的浪头状态参量在激光强度小于?时，两参量的取值非常小，当激光强度大于?时，两参量的取值非常大；(3)速度浪头参量与辐照激光呈弱近似线性正比关系，决定该参量的主要因素是金属蒸气的性质和温度。文献[2]中找出了使金属材料只发生液化相变的激光功率密度的前提下，借用金属液态与金属固态某些相似的性质，通过类比，给出了金属液化材料对激光的吸收率。经过分析，指出了直接解析金属相变速度的不可能性。通过建立金属液态内的能量方程，在质量守恒的前提下，求得了激光辐照金属的相变速度。通过讨论发现，影响金属相变速度的因素不仅有激光的强度，而且还有激光的圆频率。文献[3]中测量了重复频率YAG激光辐照涂层金属材料(30CrMnSiA钢和LF6M铝金壳体)的前后表面温度，分析了不同频率激光辐照涂层壳体材料的温升特性。实验结果表明：在相同平均功率的条件下，激光脉冲频率越高，对材料的加热效率越明显，重复频率激光对材料的加热优于连续激光。文献[4]考虑到材料的质量热容、热导率、驰豫时间等热力学参数随温度非线性变化因素的影响，利用具有人工粘性的、自适应时间步长的前向差分算法，数值求解了电子晶格双温双曲两步热传导模型，讨论了厚度为50ｎｍ的金膜在0.1ｐｓ脉冲激光辐照下的温升规律。数值结果表明：薄膜前表面自由电子的温度在大约0.27ｐｓ时达到最大值，不同厚度上自由电子达到温度平衡所需的时间大约为1.6ｐｓ，而薄膜温度在整个厚度上达到平衡所需时间为60ｐｓ左右。由电子温度及其温度梯度引起的热电子崩力很可能是造成材料破坏的一个主要因素。文献[5]提出强激光、强脉冲粒子束(IPIB)等高能粒子束技术，在金属材料表面改性、纳米粉末的制备、镀膜等方面的应用，早已引起人们的广泛关注，不少学者已对强激光与物质的相互作用进行了研究。最近有学者对强脉冲粒子束辐照金属材料表面热力学效应作了计算，但上述研究只计及温度分布和温升率，未考虑热应力。文献[6]根据模拟激光源加热金属材料的实验情况，考虑材料的物性参数随温度的变化，通过求解热传导方程得到各种情况下材料的温度时空分布，并利用热弹性本构方程、应变-位移关系以及应力平衡关系，建立了激光辐照金属材料时的轴对称热应力的计算模型，通过数值方法，得到在不同激光强度辐照时靶材内不同时刻的温升分布和热应力分布，并对造成金属材料热应力损伤的激光阈值强度进行了讨论。文献[7]推出了金属板材受激光辐照后的变域速度，给出了板材发生边界物质液化脱离收缩(内部不变)时剩余板材内的温度分布方程