工艺故障排除指南(PECVDamp;APCVD).docVIP

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2017-09-28 发布于四川
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工艺故障排除指南(PECVDamp;APCVD).doc

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工艺故障排除指南PECVDAPCVD 多单晶硅太阳电池工序故障表现诊断措施 PECVD 整体镀膜颜色没有达到深蓝色氮化硅层厚度没有达到要求调整带速至颜色符合要求，偏蓝升高带速，偏红降低带速石墨托盘两边和中间镀膜颜色有差异明显两边和中间沉积速率不同调节两边微波峰值功率或Ton,Toff使镀膜均匀。部分气孔堵塞用N2吹扫15-30分钟，或开盖清扫。镀膜颜色不稳定微波反射功率异常，或用微波检漏仪检测有泄漏关闭工艺，重新安装微波天线或换管折射率低流量配比不恰当调整NH3和SiH4流量比例和总流量使折射率达到要求镀膜后有色斑，色差色斑为硅片本身有污染或者因制绒形成的斑点减少硅片甩干前滞留时间，采用异丙醇制绒可以有效减少绒面斑点。色差为硅片放置不平整将硅片放置到位，与四个钩子接触好。卡筐，传送停止石墨托盘走出导轨停止工艺，开盖取出筐后重新运行工艺故障排除指南APCVD 多单晶硅太阳电池工序故障表现诊断措施 APCVD 整体镀膜颜色不是褐色二氧化钛层厚度没有达到要求调整2#，3#TPT Bubbler至颜色符合要求，偏黄升高量，偏蓝降低量镀膜颜色不均匀，色差喷头有堵塞，需要清洁使用APCVD刷子将喷头刷干净折射率低反应区温度低提高反应区温度，提升折射率镀膜后有色斑，色差硅片本身有污染或者因制绒形成的斑点减少硅片甩干前滞留时间，采用异丙醇制绒可以有效减少绒面斑点。从喷头上掉下的反应物遮盖形成斑点用刷子清理喷头，并定期清洗履带